| Bahasa Indonesia | Bahasa Asing | Kata kunci | Bidang | Sumber | |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | epitaksi | epitaxy | epitaksi | Fisika | Pusba |
| 2. | epitaksi berkas molekul | molecular beam epitaxy | berkas; epitaksi; molekul | Fisika | Pusba |
| 3. | epitaksi fase cair | liquid phase epitaxy (LPE) | cair; epitaksi; fase | Fisika | Pusba |
| 4. | epitaksi zadat | solid state epitaxy | epitaksi; zadat | Fisika | Pusba |
| 5. | lapis epitaksi | epitaxial layer | epitaksi; lapis | Fisika | Pusba |
| 6. | pertumbuhan epitaksi | epitaxial growth | epitaksi; pertumbuhan | Elektronika | Pusba |
| 7. | transistor tipe epitaksi | epitaxial-type transistor | epitaksi; tipe; transistor | Elektronika | Pusba |